河合 利樹(かわい としき、1963年8月26日- )は日本の実業家。東京エレクトロン株式会社代表取締役社長、一般社団法人日本半導体製造装置協会副会長。

東 哲郎(ひがし てつろう、1949年8月28日- )は、日本の実業家。東京エレクトロン代表取締役会長兼社長兼最高経営責任者、SEMI国際役員会会長、日本半導体製造装置協会会長、日本取締役協会副会長などを歴任した。

遠藤 幸吉(えんどう こうきち、1905年1月10日 - 1998年12月14日)は、日本の経営者。

小高 敏夫(こだか としお、1936年2月28日 - 2023年3月24日)は、日本の経営者。東京エレクトロンの創業者。東京都出身。

久保 徳雄(くぼ のりお、1933年11月17日 - )は、日本の経営者。東京エレクトロン社長を務めた。

佐藤 潔(さとう きよし、1956年4月2日 - )は、日本の経営者。東京エレクトロン社長を務めた。

竹中 博司(たけなか ひろし、1961年2月5日 - )は、日本の経営者。東京エレクトロン社長を務めた。

井上 皓(いのうえ あきら、1936年8月29日 - 1999年4月23日)は、日本の経営者。東京エレクトロン社長を務めた。東京都出身。